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彤程新材:擬6.98億元投建ArF高端光刻膠研發(fā)平臺項目

8月17日,極客網了解到,A股公司彤程新材(603650.SH)全資子公司對外投資項目。

根據公司發(fā)展戰(zhàn)略,進一步深化公司在電子材料領域的業(yè)務布局,彌補國內光刻膠技術與全球先進水平的差距,研究ArF光刻膠,特別是193nm濕法光刻膠的工業(yè)化生產技術,確定193nm光刻膠工程化放大技術、標準的生產流程及質量管控體系,研發(fā)生產光刻膠高端產品。

公司從實際生產經營需求出發(fā),決定通過公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司(以下簡稱“彤程電子”)在上?;瘜W工業(yè)區(qū)內使用自籌資金人民幣6.9853億元,投資建設“ArF高端光刻膠研發(fā)平臺建設項目”,項目預計于2023年末建設完成。

彤程電子表示,項目主要研究ArF濕法光刻膠工業(yè)化生產技術開發(fā),通過建立標準化的生產及控制流程,提升高端光刻膠的質量控制水平,實現193nm濕法光刻膠量產生產;同時,逐步建立先進的集成電路及配套材料開發(fā)與應用評價平臺。

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2021-08-17
彤程新材:擬6.98億元投建ArF高端光刻膠研發(fā)平臺項目
彤程新材(603650.SH)決定通過公司全資子公司-上海彤程電子材料有限公司(以下簡稱“彤程電子”)在上?;瘜W工業(yè)區(qū)內使用自籌資金人民幣6.9853億元。

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