半導(dǎo)體封裝測(cè)試解決方案專業(yè)品牌蔚華科技（TWSE: 3055）推出業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術(shù)，結(jié)合多項(xiàng)專利非線性光學(xué)組合技術(shù)，非破壞性、零接觸、零損傷地直接觀測(cè)TGV（Through Glass Via）玻璃內(nèi)激光改質(zhì)斷層圖，可精準(zhǔn)解析激光改質(zhì)成效，完整揭示改質(zhì)連貫性與均勻度，確保制程質(zhì)量符合設(shè)計(jì)要求，為TGV制程參數(shù)控制帶來(lái)革命性突破，將有助于TGV業(yè)者加速量產(chǎn)時(shí)程。

蔚華科技SP8000G運(yùn)用業(yè)界首創(chuàng)「蔚華激光斷層掃描（SpiroxLTS）」技術(shù)，以非破壞性方式精準(zhǔn)解析激光改質(zhì)成效

隨著高速運(yùn)算、高頻通訊、AI加速器及高效能服務(wù)器等應(yīng)用快速推進(jìn)，TGV技術(shù)成為先進(jìn)封裝關(guān)鍵工藝，具備低介電常數(shù)、優(yōu)異熱穩(wěn)定性及高密度I/O整合能力，應(yīng)用于玻璃芯（Glass Core）與2.5D/3D中介層（Interposer）等高階封裝結(jié)構(gòu)，產(chǎn)業(yè)應(yīng)用熱度居高不下，發(fā)展?jié)摿嫶螅玊GV前段制程中的激光改質(zhì)質(zhì)量長(zhǎng)期無(wú)法實(shí)時(shí)掌握，成為良率與成本控制的挑戰(zhàn)，尤其是改變不同高低價(jià)位的玻璃材質(zhì)時(shí)。

TGV業(yè)界知名激光改質(zhì)設(shè)備公司海納光電總經(jīng)理江朝宗表示：“我們非常欣賞與肯定蔚華科技所推出的業(yè)界首創(chuàng)激光斷層掃描檢測(cè)設(shè)備SP8000G，讓我們能在不破壞玻璃襯底下直接看到激光改質(zhì)真實(shí)分布狀況，這對(duì)于我們提升激光改質(zhì)機(jī)性能與質(zhì)量產(chǎn)生極大幫助。”海納光電長(zhǎng)期致力于TGV激光制程材料與工藝開發(fā)，對(duì)SpiroxLTS技術(shù)高度肯定，相信此技術(shù)將為激光制程數(shù)據(jù)化、可視化奠定基礎(chǔ)，并為材料研發(fā)與制程調(diào)校提供精準(zhǔn)平臺(tái)。海納光電與蔚華科技的技術(shù)互補(bǔ)，展現(xiàn)整合開發(fā)與量產(chǎn)應(yīng)用高度潛力。

SpiroxLTS讓玻璃內(nèi)部激光改質(zhì)層可視化，對(duì)開發(fā)高質(zhì)量Glass Core產(chǎn)品極為關(guān)鍵。過(guò)去在材料開發(fā)與制程優(yōu)化階段，需仰賴破壞性方式才能間接推估改質(zhì)狀態(tài)，如今可直接取得非破壞性數(shù)據(jù)，將大幅縮短開發(fā)時(shí)程并提升改質(zhì)均勻性掌控能力。目前為業(yè)界極少數(shù)符合AI需求之高質(zhì)量TGV 玻璃芯襯底供貨商之一，晶呈科技股份有限公司表示：“玻璃內(nèi)部激光改質(zhì)層可視化，可凸顯晶呈科技玻璃鉆孔之真圓、準(zhǔn)直、孔壁平坦度之優(yōu)異特性，對(duì)于玻璃芯襯底量產(chǎn)化及良率提升肯定有幫助。”

根據(jù)TGV業(yè)界封裝襯底金屬化與增層制程的多家主力廠商表示，TGV金屬化與后段增層對(duì)孔徑結(jié)構(gòu)與改質(zhì)質(zhì)量要求極高，過(guò)去信息取得困難，常導(dǎo)致后段制程挑戰(zhàn)。經(jīng)過(guò)實(shí)測(cè)驗(yàn)證，SpiroxLTS非破壞性檢測(cè)技術(shù)可讓業(yè)界在材料與制程驗(yàn)證階段即導(dǎo)入質(zhì)量篩選機(jī)制，對(duì)實(shí)現(xiàn)高階封裝TGV襯底的穩(wěn)定量產(chǎn)，具有關(guān)鍵意義。

蔚華科技總經(jīng)理?xiàng)顮d州表示：“很榮幸SP8000G能成功解決TGV改質(zhì)無(wú)法被看到的問(wèn)題，并獲得業(yè)界指針性激光改質(zhì)設(shè)備商海納光電、玻璃芯襯底制造商晶呈科技，以及TGV玻璃襯底技術(shù)領(lǐng)導(dǎo)廠商欣興電子的共同肯定。除了激光改質(zhì)檢測(cè)，SP8000G亦能非破壞性地精準(zhǔn)檢測(cè)TGV蝕刻孔腰身位置、孔壁粗糙度與鍍銅孔壁玻璃裂紋，皆為目前TGV業(yè)界難以找到的檢測(cè)解方。相信以SpiroxLTS技術(shù)，能大幅加速推動(dòng)TGV市場(chǎng)量產(chǎn)時(shí)程。”楊燿州進(jìn)一步指出，SpiroxLTS已優(yōu)先導(dǎo)入玻璃芯與中介層等高頻高速封裝應(yīng)用，支持材料評(píng)估、制程導(dǎo)入與量產(chǎn)監(jiān)控，將成為TGV工藝量產(chǎn)的重要推動(dòng)力。

關(guān)于蔚華科技

蔚華科技（股票代碼：3055）是大中華地區(qū)測(cè)試、封裝、檢測(cè)、驗(yàn)證的專業(yè)品牌，為半導(dǎo)體與電子制造產(chǎn)業(yè)提供完整解決方案，旗下代理與自有品牌橫跨封測(cè)、光學(xué)、激光與材料檢測(cè)多領(lǐng)域，致力于提供前瞻技術(shù)與高附加價(jià)值服務(wù)。蔚華科技成立于1987年，總部設(shè)于新竹，并于上海、蘇州、深圳設(shè)有營(yíng)運(yùn)與服務(wù)據(jù)點(diǎn)，更多信息請(qǐng)參閱www.spirox.com。

關(guān)于海納光電

海納光電股份有限公司專注于激光精密微加工技術(shù)與設(shè)備開發(fā)，擅長(zhǎng)處理半導(dǎo)體與光電產(chǎn)業(yè)常用的硬脆材料，包括硅、碳化硅、氮化硅、陶瓷、氧化鋯、光學(xué)玻璃、藍(lán)寶石、鉆石及特殊金屬，提供微米級(jí)精細(xì)切割、微孔加工與微結(jié)構(gòu)制程。服務(wù)涵蓋半導(dǎo)體、光電、AR/VR、汽車及醫(yī)療等產(chǎn)業(yè)。除深耕中國(guó)臺(tái)灣地區(qū)高科技市場(chǎng)外，海納激光系統(tǒng)亦營(yíng)銷至英、美、日等國(guó)際大廠，并提供特約代工與技術(shù)開發(fā)服務(wù)。更多信息請(qǐng)參閱www.hinanomms.com。

關(guān)于晶呈科技

晶呈科技為國(guó)內(nèi)極少數(shù)掌握高厚度玻璃襯底激光改質(zhì)核心技術(shù)之企業(yè)，專注于玻璃芯產(chǎn)品的開發(fā)與量產(chǎn)，自創(chuàng)LADY（Laser Arrow Decomposition Yield）制程，具備高厚度玻璃的激光改質(zhì)、蝕刻與后段清洗整合能力，達(dá)成玻璃鉆孔真圓、準(zhǔn)直、孔壁平坦、均一及高密度規(guī)格要求，能依應(yīng)用需求客制化改質(zhì)結(jié)構(gòu)與孔徑設(shè)計(jì)。晶呈在TGV制程中扮演中游關(guān)鍵角色，為整體供應(yīng)鏈提供穩(wěn)定且高質(zhì)量的玻璃基材與制程支持，協(xié)助客戶加速先進(jìn)封裝導(dǎo)入。更多信息請(qǐng)參閱www.ingenteccorp.com。

關(guān)于欣興電子

欣興電子為中國(guó)臺(tái)灣首批導(dǎo)入TGV（Through Glass Via）玻璃襯底技術(shù)的領(lǐng)導(dǎo)廠商，已投入研發(fā)逾十年。初期將采用日韓玻璃供貨商完成激光改質(zhì)與鉆孔，預(yù)計(jì)自家產(chǎn)線于2025年下半年成熟，并結(jié)合既有ABF制程進(jìn)行載板制造。預(yù)期2028年起進(jìn)入垂直整合量產(chǎn)階段，為高階封裝發(fā)展奠定關(guān)鍵基礎(chǔ)。更多信息請(qǐng)參閱www.unimicron.com。

蔚華科技SP8000G可沿著垂直深度進(jìn)行激光改質(zhì)光斑形貌與一致性檢驗(yàn)

蔚華科技SP8000G提供刻蝕后TGV關(guān)鍵尺寸量測(cè)與輪廓粗糙度分析

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